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探針臺| MPI 12英寸高低溫/射頻半自動探針臺 TS3000

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MPI TS3000 半自動探針臺


產品特點:


1,多種晶圓測量應用

  • 模塊量測 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV

  • 射頻、毫米波、負載拉移&4-port

  • -60 300 °C 之集成電路設計驗證、失效分析

  • 可靠性測試


2高彈性量測平臺

  • MPI IceFreeEnvironment? 讓用戶即使是行使低溫測試,也能同時使用微定位器與探針卡

  • 可編程的顯微鏡滑臺實現便利的自動化測試

  • 實現電纜接口與集成電路測試儀器距離最短化

  • 實現工作臺─載物臺距離最短化,是理想的毫米波量測和主動式探針架針平臺

  • 支援晶圓切后貼于模框之量測

3,工效學設計及彈性選配

  • 簡易便利的前門單晶圓/待測物上片設計

  • 內建防震系統

  • 完整的硬件操控整合,方便更快速安全的量測操作

  • 安全測試管理系統 (Safety Test Management, STM?)選配具自動進行露點控制功能

  • 預留制冷機組空間,節省空間不占位

  • 儀器架選配,可縮短射頻電纜之架設長度,提供最高的量測機能


設備簡介:


MPI的TS3000是一個300毫米自動測頭系統,專門為產品工程, 故障分析 設計驗證 晶圓級可靠性 以及 RF和mmW 應用而設計。

TS3000功能集提供:

  • 最高溫度范圍-60…300°C

  • 最大的靈活性

  • 通過設計專用的電纜接口,與功能測試儀的最小電纜距離可實現更好的測量方向性

  • 最小的壓板到卡盤高度,以實現最佳的mmW和內部節點探測

  • 最小的系統占地面積,在內部集成了熱力系統的冷卻器。兩者的結合使TS3000探針臺成為市場所獨有產品。



        機臺特征:



 MPI-TS3000-Automated-Probe-System-Fact-Sheet_00.png





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