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探針臺| 200mm 8英寸射頻/高低溫半自動探針臺 TS2000

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MPI TS2000是世界范圍內成熟的探針系統的自然演變,其專用設計滿足先進半導體測試市場的要求。該系統與所有MPI系統附件完全兼容,主要用于解決故障分析設計驗證IC工程晶圓級可靠性以及MEMS,高功率RF和mmW器件測試的特殊要求。

TS2000可用于環境溫度和/或僅熱溫度操作模式,速度快達10 Dies /秒(取決于最終配置),這使其成為離散RF設備上預生產電氣測試的理想選擇,例如。

適用于多種量產型晶圓量測應用
? 模塊量測 - DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV
? 射頻量測 - 至高 67 GHz & 4 埠
? 高功率量產測試 - 至高 10 kV / 600 A
? 集成電路設計驗證 - 室溫至 300 °C


量產可靠性
? 專為 24/7 穩定可靠的量產測試而設計
? 內建被動式防震桌
? 可另選配避震基座
? 適用于室溫至 300 °C 量測


工效學設計及彈性選配
? 簡易便利的前門單晶圓上片設計
? 大面積工作臺設計,可乘載至多 12x DC 或 4x
DC + 4x RF 微定位器、或 4.5” 標準探針卡夾具
? 另有多種晶圓載物臺、4.5“ 探針卡夾具可做選
擇,亦有諸多配件如 DC/RF 微定位器、光學顯
微鏡等可搭載,以完全支援您的應用需求




關鍵特征:


1,自動單片晶圓裝載(Automated Single Wafer Loader)


可以非常方便、直接且直觀地將8寸、6寸、4寸等晶圓直接放在裝載臺上,蓋上暗箱后,全自動裝載樣片。

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2,市場上最高屏蔽規格的微暗箱ShielDEnvironment?font


MPI ShielDEnvironment? is a high performance local environmental chamber providing excellent EMI- and light-tight shielded test environment for ultra-low noise, low capacitance measurements.

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3,安全測試管理系統(Safety Test Management STMTM Option)


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4,待高低溫樣機互換系統(Hot/Cold wafer swaps at set temperatures)

一般的加熱、降溫過程是非常緩慢的,當客戶對一片晶圓加熱后,如果需要換片,那需要重復經歷冷卻、再升溫的過程,非常耗時。 MPI的晶圓熱/冷互換載臺可以讓客戶省去反復升降溫的等待,自動將樣片裝載出。

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5,側面輔助光路系統 (Vertical Control Environment (VCE)


當客戶的樣片是柔性、超薄膜、射頻電極等等的時候,我們提供了側面輔助光路系統來直接觀察探針與樣片表面的接觸情況。 配合上Z方向自動對焦顯微鏡,可以使得樣片自動測試過程中,探針與樣片始終保持最佳接觸


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6,EPS冷卻專利技術 (ERS patented AC3 cooling technology incorporated)

最新的ERS專利技術,可以快速降溫的同時,減少50%左右的用氣量,極大限度地節約后續使用成本。

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7,加熱、冷卻功能顯示和操作功能 (Thermal Chuck Operation)


提供專用觸摸顯示屏來顯示溫度值,并可以進行升降溫和保溫時間控制。

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8,內置主動隔震臺 (Integrated Active Vibration Isolation)



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9,XYZ全自動對焦顯微鏡 (MIP IMAG Optics)

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10,自動測試軟件(Software Suite SENTIO)


MPI總計有40位軟件工程師歷時3年,不斷更新完善,終于面世了這款市場上唯一可觸摸屏直接操作并且可以和顯微鏡、樣品臺等均可聯動。有效提高操作效率和降低使用的復雜性。



11,最新設計的探針結構(RF TIPS)


MPI自主設計的RF探針采用最新MEMS技術加工,針尖是向前方呈45°角。因此可以非常直觀地獲悉扎針位置和深度情況。這樣可以極大延長探針使用壽命的前提下還能獲得最佳的接觸位置。反觀傳統的RF探針,必須憑經驗和感覺才能知曉扎針落點和接觸情況。

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