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探針臺| MPI 8英寸毫米波手動探針臺 TS200-THz

業界首個明確設計的150 mm和200 mm探頭系統,可為毫米波,太赫茲和自動阻抗調諧器應用提供精確測試,并具有最佳的測量方向性。

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MPI TS200-THz 毫米波手動探針臺

TS150-AIT和TS200-THZ探頭系統為新興THz應用擴展了MPI獨一無二的系統解決方案,如高速5G通信,衛星,非侵入式光譜,安全和監視,醫療和保健設備,以及短距離汽車雷達通過在同一探測臺上增加有源阻抗調諧器集成。這兩個系統是業界首個明確設計的150 mm和200 mm探頭系統,可為毫米波,太赫茲和自動阻抗調諧器應用提供精確測試,并具有最佳的測量方向性。

  • 無縫集成任何帶狀,差分或寬帶頻率擴展器,最高可達1.5 THz和/或自動阻抗調諧器

  • 擴展器/調諧器集成的新穎設計,可實現最大的測量動態

  • 最大的機械穩定性和可重復性,以及方便和安全的操作



TS200-THZ-Air-bearing-stage.jpg


空氣軸承

MPI獨特的氣墊載物臺設計,具有簡單的單手圓盤控制,通過快速的XY導航和快速的晶圓裝載提供了無與倫比的操作便利性,同時又通過25x25mm的XY-Theta千分尺精確移動提供了精確的定位。


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帶有Probe Hover Control?的獨特壓板提升機

MPI TS200-THZ手動測頭系統具有無與倫比的功能,這些都是具有高度可重復性(1 μm)的壓板提升設計,具有用于安全,接觸,分離(300 μm)和加載(3 mm)的三個離散位置。這些功能可防止意外的探針或晶圓損壞,同時提供直觀的控制,準確的觸點定位和安全設置。如果毫米波和次太赫茲范圍內的探頭成本很高,則此功能尤其重要。

附加的Probe Hover Control?具有懸停高度(50、100或150 μm),可輕松方便地將探頭與焊盤對齊。


TS200-THZ-probe-System-Chuck-Z-adjustment.jpg




卡盤Z調整

TS150-THZ具有10mm的精細卡盤Z調整,旨在靈活地集成不同的擴頻器,例如Rohde&Schwarz,VDI或OML。對于在同一探頭系統上使用多個彎曲解決方案的設置非常有利-可以輕松快速地進行設置。

TS200-THZ-Multiple-configurations-of-MicroPositioners.jpg

MicroPositioners的多種配置

專用的極剛性探針臺板設計可容納兩個東西方向的粗體->向下MP80大面積MicroPositioner。通過將兩個南北“電橋”作為標準配置,可以輕松進行四端口RF測量或DC偏置。

TH200-THZ 2.png

MP80-DX

市場上另一個MPI開拓性解決方案–獨特的MP80-DX具有Δl低至1μm的簡單,精確的清晰度–是精確且經濟高效的多線TRL的理想選擇-多行TRL –毫米波和次太赫茲范圍內唯一的RF校準方法。欲了解更多詳情,請訪問 MPI QAlibria ?軟件。

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各種卡盤選項

TS200-THZ提供多種  卡盤選件, 以滿足不同的預算和應用要求,例如MPI:

  • 帶BNC連接器的標準RF卡盤

  • 專用mmW卡盤,完全內置具有高導熱率(> 180 W / Km)的特殊陶瓷,甚至

  • ERS AirCool射頻卡盤(從20°C到200°C或更高),帶有集成的鍍金頂面和小的真空孔

所有卡盤都有兩個由陶瓷材料制成的輔助卡盤,用于精確的RF校準,尤其是在40 GHz以上的范圍內。

TS200-THZ-Probe-System-Various-Optic-Options.jpg

各種光學選項

提供專用的  MPI光學元件  ,可以選擇單管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12,其光學變焦高達12倍,工作距離超過45毫米。由于集成擴頻器固有的空間限制,要求與DUT的距離最短,因此這種顯微鏡的體積小,非常適合RF和mmW應用。

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擴頻器集成

TS200-THZ集成了全新的擴頻器集成設計。為了最大程度地減少到DUT的距離并提供最佳的測量方向性,MPI引入了一種新穎的概念,將擴展器懸停在整個200 mm晶圓上。新型TS200-THZ探針臺的附加關鍵功能是輕松,便捷和快速地重新配置。

在不同頻段之間切換時,防撞保護器已嵌入到設計中,以提高安全性。




MPI TS200-THz 探針臺 規格參數:


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