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探針臺|MPI 6英寸毫米波手動探針臺 TS150-THz

TS150-THZ是全球首個150 mm專用探針臺系統工作站,專為mmW和THz晶圓上測量而設計,最高可達1.5 THz及以上

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隨著新興太赫茲應用的大量擴展,如高速5G通信,衛星,非侵入性光譜,安全和監視,醫療和保健設備以及短程汽車雷達,對精確,可靠和可重復測量數據的需求比以往變得更加重這些THz

MPI TS150-THZ 工程探針臺系統是一種專用的,經濟高效的手動探頭系統,專為基板和亞太赫茲150 mm晶圓的精密分析而設計。該系統非常穩定,具有大型探頭壓板和低調設計。這些基本元件中的每一個都需要支持各種RF和mmW應用,例如高達110 GHz的寬帶,高達1.1THz的帶狀解決方案,負載牽引和RF噪聲。

單機多應用設計

無縫集成各種寬帶、差分、毫米波或寬帶頻率擴展器和自動阻抗調諧器

全新設計的擴展器、調諧器集成,可實現最大的動態測量7afce7762cdfa563ba6b6ec4de5b0d4e.jpg

最大的機械穩定性和重復性,實現方便和安全的操作


人體工程學設計

方便單手操作的,快速移動氣浮式樣品臺設計

堅固且空間充足的工作臺,可乘載大型微定位器和毫米波模塊擴展器

三段式工作臺快升把手設計 (contact - separation - loading),實現接觸、分離和加載的高性能


彈性選配與升級

可選振動隔離支持大型自動阻抗調諧器

專用光學元件,用于縮短電纜和波導的長度,實現最大的測量方向性

各種夾頭選件,印刷電路板和各種附件,如DC / RF /毫米波定位器


      直流、射頻和THZ微定位器的探針板設計

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MPI探針懸停控制TM配有懸停高度(50、100或150μm), 便于探針與Pad的對準。

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世界上獨一無二,最精確的接觸/超大行程控制, 精度為1um,便于測量的重復性和精確性

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無縫集成任何擴頻器,以在200毫米晶片上獲得 最佳測量方向性


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陶瓷輔助夾頭


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用于測試單個集成電路的專用ERS熱夾頭



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機臺結構:


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