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探針臺| MPI 6英寸手動直流|射頻 探針臺 TS150

高清无码黄片TS150,TS200和TS300 是開放式,易于使用且經濟高效的手動探頭系統,專為精密分析基板和高達150,200 和300 mm的晶圓而設計。這些系統可滿足各種應用,如故障分析, 設計驗證/ IC工程,晶圓級可靠性,MEMS, 高功率和器件表征和建模。

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TS150 手動直流/射頻探針臺

產品描述:

1. 單機多應用設計

適用于多種晶圓量測應用,如組件特性描述和建模,晶圓級可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成電路工程、微型機電系統 (MEMS) 和高功率 (HP) 

2. 工效學設計

  •  方便單手操作的快速釋放拖移氣浮載物臺設計

  • 堅固可承載多達10根DC 或4根RF微定們器在工作臺

  • 三段式工作臺快升把手設計 (contact - separation- loading),實現高重現性

3. 彈性選配與升級性

  •  另有多種晶圓載物臺可做升級,亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光學顯微鏡、影像鏡頭、電磁屏蔽箱等可搭載,以完全支援您的應用需求


特點與優勢

1,空氣階段:

TS150 獨特的空氣軸承平臺設計,簡單的單手圓盤控制,提供無與倫比的操作便利性,可實現快速XY導航和快速晶圓裝載,同時不會影響精確和精確的定位能力,并具有額外精細和精確的25x25mm XY-Theta千分尺機芯。

2,帶探針懸停控制?的壓板提升

測量精度首先取決于接觸質量!高度可重復(1μm)的壓板提升設計具有三個離散位置,用于接觸,分離(300μm)和裝載(3 mm),帶有安全鎖實用程序,這些都是MPI手動探頭系統中無與倫比的功能的例子。這些功能可防止意外探頭或晶圓損壞,同時提供直觀的控制和準確的接觸定位 這種能力在高頻和高功率應用中尤為重要,以實現最準確的測量結果。對于TS200和TS300,額外的Probe Hover Control?具有懸停高度(50,100或150μm),可輕松方便地探測墊對齊。

3,高度調整量表

探頭壓板具有25 mm的精細高度調節,以支持各種應用。獨特的1mm精確刻度可直接反饋當前位置。

4,緊湊和剛性壓板設計

緊湊而堅固的壓板設計可容納多達十個DC或四個RF MicroPositioner,可滿足各種應用要求。

5,各種夾頭選項

手動系統提供各種卡盤選項,以滿足不同的預算和應用要求。卡盤選擇包括MPI的同軸或三軸夾頭  或各種ERS 熱卡盤 小號支持溫度測量高達300℃ -如實施例用于快速和方便的訪問和操作的熱觸摸控制器的無縫集成。

6,輔助卡盤

RF卡盤包括兩個內置陶瓷材料的輔助卡盤,用于精確的RF校準。

7,各種光學和運動選擇

提供多種光學元件 和機芯 ,可選擇用于常見DC / CV應用的立體聲或用于RF配置的單管MPI SZ10或MZ12。甚至高功率光學器件,如Mitutoyo FS70或Motic PSM-1000也可用于故障分析應用。

8,光學傾斜

作為標準特征或甚至是氣動驅動的90度傾斜,線性Z升降機提供非常方便的設置和易于更換的探頭尖端。

9,隔振平臺

所有手動系統均包含振動吸收底座,可實現穩定可靠的長期探頭與焊盤接觸,確保可靠的測量結果。在實驗室環境需要大量振動保護的情況下,可選配隔振平臺或工作臺。

10,DarkBox

可用的DarkBox選件提供EMI屏蔽和不透光的測試環境,可用于超低噪聲DC測量。

機臺結構:

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TS150規格參數:


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