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探針臺| 硅光自動探針臺TS3000-SiPH

高清无码黄片300mm自動硅光探針臺系統

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TS3000 SiPH 硅光自動探針系統


TS3000-SiPH  功能集提供:

       1,高精度光纖對準系統,在雙定位器或單定位器設置中為單個或光纖陣列提供最大的靈活性

        2,通過將晶圓包括在光纖接近檢測和光纖防撞中,實現最安全的操作

        3,推薦的器件測試溫度為-40 ... 100°C; 系統性能-60 ... 300°C

        4,通過在專用測量架中集成額外的硅光子儀器,最大限度地減少系統占用空間


專用于硅光子晶圓在片測試:


?包括各種高精度光纖選項用于超快速掃描程序的對準系統

?O-OO-EE-OE-E設備配置的多種測量功能

?集成Z感應,用于檢測光纖到晶圓接觸點

?使用兩個光纖臂時的防撞保護

?建議溫度范圍為-40100°C,系統支持-60°C300°C的全范圍

 

靈活的可擴展性:


?MPI IceFreeEnvironment?,即使在負溫度下,也可同時使用MicroPositi和探針卡

?可編程顯微鏡移動更自動化和容易使用。

?IC測試儀的最短電纜接口

?最小化mmW的壓板到卡盤距離

?并使用有源探頭進行探測,
?支持電幀探測


人體工程學設計:


?從正面輕松裝載晶圓或單個DUT

?集成主動隔振

?完全集成的探針控制,更快,更安全方便的系統和測試操作

?安全測試管理(STM?),具有自動露點控制功能

?由于智能冷卻器空間布置,減少了占地面積

?儀器架選項,適用于較短的電纜和更高的測量動態


硅光子光纖對準系統


TS3000-SiPH探頭系統可輕松使用各種光纖定位平臺和相關軟件。最短的壓板距離允許較短的光纖臂具有更高的穩定性和更低的測量噪音。可提供單纖維或多纖維陣列的解決方案,所有這些解決方案均集成了自動Z感應單元,可與光學I / O保持幾微米的恒定距離。

TS3000-SiPH_Silicon-Photonics-Fiber-Alignment-Systems.png

Probe Hover Control?

MPI探頭懸停控制PHC?可以輕松手動控制探頭接觸和分離到晶圓。分離距離可以用微米反饋精確控制探針到晶圓/焊盤定位。易于使用通過在關鍵設置和探頭更換操作期間最小化錯誤來保證最安全的操作。

PHC-for-Automated-Systems-in-one.png

易于晶圓裝載

雙前門通道和獨特的卡盤設計可輕松裝載/卸載150,200,300 mm晶圓,晶圓碎片或甚至小至5×5 mm IC。

AUX卡盤位于前面,可以非常方便地裝載/卸載。沒有推出階段允許用于RF校準和探針卡清潔的簡單自動化方法。

TS3000-Automated-Probe-System-INF-Easy-Wafer-Loading-3.jpg
集成硬件控制面板

智能硬件控制面板完全集成到探頭系統中,基于數十年的經驗和客戶交互設計,提供更快,更安全,更方便的系統控制和測試操作。鍵盤和鼠標的戰略位置,如果需要控制軟件,也將控制Windows ?基于儀器。

TS3000-Automated-Probe-System-Integrated-Hardware-Control-Panel-2.png

熱卡盤集成

由于智能冷卻器集成,TS3000系列提供優化的占地面積,以節省實驗室的寶貴空間。

MPI和ERS共同設計了系列,提供無與倫比的熱靈活性和市場上最多種類的熱量范圍。該系統可配置為-60°C,-40°C,-10°C,20°C或30°C的較低溫度起點,以及200°C或300°C的較高端點 - 所有這些為了根據不同的要求和預算定制熱能力。PRIME?技術可以在沒有冷卻器的情況下在-10°C下進行測試,或者在-40°C下使用非常小的冷卻器進行測試,從而使系統極具成本效益,從而降低測試的總體成本。

減少轉換時間,改善電氣性能,在惰性氣體環境下更容易測試,以及現場可升級性是PRIME?熱卡盤系統的附加值。

熱系統可以使用完全集成的觸摸屏顯示器操作,放置在操作員面前的方便位置,以便快速操作和立即反饋。

Chuck-Systems-MPI-ERS-PRIME-Technology.jpg
ERS獲得專利的AC3冷卻技術公司

這些卡盤采用獲得專利的AC3冷卻技術和自我管理系統,使用循環冷卻空氣清洗MPI ShielDEnvironment?,與市場上的其他系統相比,可大幅減少30%至50%的空氣消耗。

ast-ers-1-1.jpg

綜合測量儀器

硅光子儀器架包含定位控制硬件的所有必需組件,無縫集成,無需增加額外的占地面積。它位于用戶友好的距離,便于設置操作。

TS3000-SIPH-Instruments-Integrationsside-view.png


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