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探針臺||MPI 8/12英寸手動直流/射頻探針臺

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MPI探針臺(各尺寸手動、半自動機型;高頻、高壓機型;高低溫機型;力學/光學/真空/磁學模塊等等)。

 

MPI探針臺系統是由來自于Cascade和安捷倫等公司的資深專家們研發和設計,專業提供探針臺及所有相關直流/射頻附件以及相關半導體測試整體解決方案。得益于其極高的性價比,廣受國內外用戶的好評。TS150,TS200,TS300是常用的手動式探針臺,簡單,直觀,方便,  并確保  高度準確的測量

以下是MPI探針臺的特點:

 Air-bearing stage-氣浮式樣品臺技術:很多探針臺的廠家通常配備的是傳統的滾珠式/軸承式樣品臺,內部移動是都會產生摩擦,因此存在了響應慢,易損耗,需定期維護(添加潤滑油)等固有缺點。MPI探針臺的載物臺采用最新的氣浮支撐技術,我們成為Air-bearing stage技術。很好解決了傳統的滾珠式/軸承式樣品臺固有缺點,即消除內部摩擦,避免日常使用損耗,免去定期維護等麻煩。并且該設計可以使得樣品臺在移動范圍內360°移動,而不受X/Y導軌限制移動(其他品牌無法同時X/Y移動,只能選一個方向移動)。

b. Platen Lift技術-三段平面式升降及下針:影響探針臺測試結果很大程度上取決于探針與樣品的接觸。MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下針并且內置安全鎖(其他廠家是兩段),不僅實現了1um重復性,同時也使得整個下針過程變得十分平緩且平穩從而避免了撞針。這大大提升了用戶的體驗,方便了用戶的操作。

c.溫控觸屏設計:MPI手動探針臺可以選配各類樣品臺,包含2英寸、4英寸、6英寸、8英寸樣品臺,及加熱樣品臺(200℃/300℃)。并且配備智能化觸摸屏,可以隨時快速調節樣品臺加熱問題,實時顯示溫度變化。高精度、便捷的溫度控制功能,便于客戶進行實驗設計和測試。

d. Microscope bridge mount:MPI探針臺具備了Microscope bridge mount,方便用戶自行購置并升級顯微鏡。這點也是其他探針臺所不具備的。對于這類的用戶而言,如果今后要升級顯微鏡,只能從探針臺原廠購買。但是其實探針臺廠家往往并不制造光學顯微鏡。而MPI則更多的為客戶考慮,把顯微鏡的選擇權交在客戶手里。這也是MPI設計了Microscope bridge mount的初衷。

 

e. 所有核心部件均自行生產:諸如主機臺,直流/射頻探針座,直流/射頻線纜及探針等核心部件均為MPI公司自行生產。很多探針臺廠商的射頻探針也都是從MPI購買的。此外,MPI探針臺的產品線也非常豐富,擁有手動、半自動、全自動、射頻/微波、高功能等所有探針臺系列。 

 

設備結構:

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