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用網絡分析儀建CAL KIT

       微波集成電路工作在微波和毫米波波段,由微波無源有源元件、傳輸線和互連線集成在一個基片上。隨著微波集成電路技術和制作工藝的發展,集成電路的集成度更高,基片面積更小。作為通用微波測量儀器的矢量網絡分析儀,利用其對微波集成電路進行在片測試,即直接在晶圓上進行微波集成電路S參數測試,難度也更高。由于微波集成電路與矢量網絡分析儀無法直接相連,因此測量需要引入夾具或探針臺、或封裝、或利用鍵合引線等。

如果利用探針臺配合網絡分析儀進行晶圓級S參數測試會涉及到校準的問題,那么如何利用網絡分析儀將探針及電纜的寄生參數校掉呢?

晶圓級校準業內使用比較多的是SOLT的校準方式,通常提供探針的廠家會配套提供相應的校準片用于探針的在片校準,下圖所示是臺灣MPI公司的探針及校準片。


 T110A-GSG50-Titan-Probe.png 


在校準片上有SOLT的校準結構,利用探針接觸校準片上的各個校準結構,連接網絡分析儀即可實現在片校準。






特征與優勢



通常網絡分析儀在出廠時,內部并沒有各品牌探針的校準文件(Cal Kit),這就需要我們在校準前建立一個Cal Kit。下文以MPI的探針、Keysight的PNA為例做Cal Kit的創建。

一、 創建一個新的Cal Kit

         image.png

 Insert new one

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 Add / Edit Connector

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四,Add Standard (OPEN)

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五、 Define OPEN Model Parameters

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 Add Standard (SHORT)

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 Define SHORT model parameters

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 Add Standard (LOAD)

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 Define LOAD Model Parameters

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 Add Standard (THRU / LINE)

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    十一、Define THRU / LINE Model Parameter


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  十二、THRU / LINE Delay for AC2, AC3 and AC5 Substrates

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        十三、Class Assignment for Standards

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十四、Start the SOLT Calibration

Cal Kit建好后就可以利用校準片進行在片校準了,校準流程如下:

image.png





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應用領域

所有的校準完成后可以用Thru進行驗證校準結果,沒有問題后便可利用探針臺進行扎針,完成在片測試。

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